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光刻膠樹(shù)脂中試基地開(kāi)工,國(guó)產(chǎn)高端材料突圍戰(zhàn)再添生力軍!

2025-12-31 11:17:31 來(lái)源:中國(guó)石油和化工
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  新聞事件

  12月25日,尚賽集團(tuán)千噸級(jí)光刻膠樹(shù)脂材料及新型光電材料中試基地在黃岡化工產(chǎn)業(yè)園正式開(kāi)工。項(xiàng)目計(jì)劃總投資5億元,將建設(shè)有機(jī)小分子精細(xì)化工工藝優(yōu)化與量產(chǎn)銜接平臺(tái)、超高純化學(xué)品純化工藝優(yōu)化與量產(chǎn)銜接平臺(tái)、高性能樹(shù)脂聚合工藝優(yōu)化與量產(chǎn)銜接平臺(tái)、有機(jī)光電功能材料配方優(yōu)化與量產(chǎn)銜接平臺(tái)、中試質(zhì)控及診斷服務(wù)平臺(tái)等五大平臺(tái)。


新聞深一度

化工行業(yè)新聞熱點(diǎn)解讀

  國(guó)產(chǎn)光刻膠樹(shù)脂的現(xiàn)狀與瓶頸

  光刻膠樹(shù)脂是光刻膠的核心組成部分,成本占比超過(guò)50%,在高端光刻膠中甚至高達(dá)九成以上。它的質(zhì)量直接決定光刻膠的性能,影響芯片制造的精度與良率。目前全球高端半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)被日本和美國(guó)公司壟斷,日本企業(yè)全球市占率約80%。我國(guó)光刻膠行業(yè)起步較晚,生產(chǎn)能力主要集中在中低端光刻膠領(lǐng)域,高端光刻膠自給率較低。

  高端光刻膠樹(shù)脂的合成技術(shù)復(fù)雜,壁壘高企。行業(yè)數(shù)據(jù)顯示,1噸KrF光刻膠單體僅能合成0.8-0.9噸KrF樹(shù)脂,而1噸ArF光刻膠單體只能合成0.5-0.6噸ArF樹(shù)脂。這種低合成率大幅推高了生產(chǎn)成本,成為制約國(guó)產(chǎn)高端光刻膠發(fā)展的關(guān)鍵因素之一。

  產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同突破的新模式

  面對(duì)技術(shù)瓶頸,國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈探索出多種協(xié)同創(chuàng)新模式。包括"企業(yè)-晶圓廠"協(xié)同創(chuàng)新、區(qū)域產(chǎn)業(yè)集群效應(yīng)、"企業(yè)-設(shè)備商"協(xié)同創(chuàng)新、"企業(yè)-科研機(jī)構(gòu)"產(chǎn)學(xué)研合作等。

  “企業(yè)-晶圓廠”協(xié)同成為縮短驗(yàn)證周期的有效路徑。艾森股份與中芯國(guó)際在28nm鍍銅添加劑領(lǐng)域建立聯(lián)合驗(yàn)證機(jī)制,將導(dǎo)入周期從傳統(tǒng)的2年縮短至6個(gè)月。南大光電與長(zhǎng)江存儲(chǔ)則構(gòu)建“材料-工藝”協(xié)同優(yōu)化機(jī)制,使ArF光刻膠通過(guò)驗(yàn)證并獲百噸級(jí)訂單,成本較進(jìn)口產(chǎn)品低15%。

  區(qū)域產(chǎn)業(yè)集群效應(yīng)也開(kāi)始顯現(xiàn)。潛江微電子材料產(chǎn)業(yè)園整合江漢鹽化工副產(chǎn)品作為原料,降低園區(qū)內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)成本20%以上,將材料驗(yàn)證周期縮短至45天。這種“原料-樹(shù)脂-光刻膠-配套試劑”的完整產(chǎn)業(yè)鏈模式,為其他產(chǎn)業(yè)園包括黃岡項(xiàng)目中試基地的建設(shè)提供了可借鑒的經(jīng)驗(yàn)。

  技術(shù)突破與國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)展

  2025年以來(lái),國(guó)產(chǎn)光刻膠樹(shù)脂領(lǐng)域取得了一系列實(shí)質(zhì)性突破。八億時(shí)空建成了國(guó)內(nèi)首條百噸級(jí)KrF光刻膠樹(shù)脂量產(chǎn)線,性能達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。興福電子實(shí)現(xiàn)高端光引發(fā)劑國(guó)產(chǎn)化,送樣指標(biāo)與進(jìn)口品一致,直接降低下游企業(yè)成本30%。鼎龍股份則掌握了從單體、光致產(chǎn)酸劑、樹(shù)脂等原材料到材料純化的全鏈條自供能力。

  在工藝創(chuàng)新方面,北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)利用冷凍電子斷層掃描技術(shù)解析光刻膠分子在顯影液中的微觀三維結(jié)構(gòu),使缺陷率大幅降低99%。這一技術(shù)已應(yīng)用于中芯國(guó)際7nm產(chǎn)線,缺陷密度降至0.03個(gè)/cm²,良率提升至99.7%。

  新型光電材料的融合創(chuàng)新

  隨著智能時(shí)代到來(lái),光電子材料成為各國(guó)競(jìng)相布局的戰(zhàn)略高地。2023年中國(guó)光電子器件產(chǎn)量達(dá)14380.5億只,行業(yè)進(jìn)入高速發(fā)展期。智能光/電/熱材料通過(guò)動(dòng)態(tài)響應(yīng)與精準(zhǔn)調(diào)控能力,成為突破能效瓶頸的核心引擎。這類材料能夠自發(fā)感知環(huán)境,實(shí)現(xiàn)從微觀到宏觀的跨尺度響應(yīng),在光、熱、電傳導(dǎo)之間實(shí)現(xiàn)跨時(shí)域調(diào)控。

  黃岡項(xiàng)目中試基地重點(diǎn)布局的有機(jī)光電功能材料,正是未來(lái)智能光電體系的關(guān)鍵組成部分。這類材料在光通信、激光雷達(dá)、光電探測(cè)器等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,新型材料如GaAs、GaN及PZT薄膜的研發(fā)推動(dòng)器件向高頻、高效方向發(fā)展。

  政策資本雙輪驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)

  國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金三期計(jì)劃投入超500億元支持光刻膠研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化,重點(diǎn)扶持EUV光刻膠材料和高端樹(shù)脂。這為尚賽等企業(yè)提供了良好的政策環(huán)境。

  地方政策也在持續(xù)加碼。上海按采購(gòu)額10%補(bǔ)貼國(guó)產(chǎn)光刻膠,單廠年補(bǔ)5000萬(wàn)元;武漢、潛江等地提供稅收減免和土地優(yōu)惠,推動(dòng)“武漢研發(fā)-潛江制造”模式。我國(guó)首個(gè)《極紫外(EUV)光刻膠測(cè)試方法》國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng),構(gòu)建全鏈條標(biāo)準(zhǔn)體系支撐產(chǎn)業(yè)化落地。

  未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)

  尚賽黃岡項(xiàng)目中試基地重點(diǎn)建設(shè)的五大平臺(tái),正是針對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵痛點(diǎn)。中試平臺(tái)作為實(shí)驗(yàn)室成果與產(chǎn)業(yè)化之間的橋梁,將成為破解“死亡谷”難題的重要嘗試。

  黃岡項(xiàng)目中試基地的開(kāi)工建設(shè),標(biāo)志著中國(guó)高端光刻膠樹(shù)脂材料正從單點(diǎn)突破邁向體系化創(chuàng)新。隨著更多企業(yè)加入這一賽道,中國(guó)有望在2030年前在成熟制程光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)全面自主,在先進(jìn)封裝等前沿方向建立局部領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。